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離子滲氮的工藝參數較多，除了常見的滲氮溫度和時間外，還與爐氣壓力、氣源、氣體壓力及流量、電壓與電流、抽氣速率等要素有關。

　　滲氮溫度和時間

　　1)離子滲氮的滲氮溫度和氣體滲氮基本相同，一般為500~540℃，不同材料滲氮硬度與溫度之間均有一Z佳對應值，一般在450~540℃之間。當溫度高于590℃時，會因氮化物的積聚而使硬度明顯下降。

　　升溫速度S要取決于工件外表的電流密度、工件體積與發生輝光的外表積之比以及工件的雜亂程度與散熱條件等。為削減變形，升溫速度不宜過快，一般為150~250℃/h。保溫溫度要安穩，波動要小。

　　保溫溫度的安穩性與爐壓及電壓有密切的關系，經過安穩爐壓來安穩電流密度，從而進步保溫溫度的安穩性;經過安穩電壓來安穩電流密度，從而進步保溫溫度的安穩性。

　　2)滲氮的保溫時間取決于滲氮件的材料以及滲氮層的厚度和硬度要求，保溫時間從幾十分鐘到幾十小時。當滲氮時間在20h以內時，離子滲氮的速度明顯大于氣體滲氮，當滲氮時間在20h以上時，兩種滲氮的速度挨近。

　　可見，在處理滲氮層小于0.5mm的工件時，用離子滲氮是Z合適的。當滲氮層深度為0.2~0.5mm時，一般保溫8～20h即可。

　　爐氣壓力

　　爐氣壓力是離子滲氮的一個重要參數。空爐或工件裝爐后，氣壓應能達到6.67Pa以下。如果達不到此值，說明爐體有漏氣現象，漏入的空氣中的氧在滲氮過程中會使金屬外表氧化，影響滲氮質量;冷卻時漏入空氣，會使工件呈現氧化色。

　　爐氣壓力與供氣流量和抽氣速率有關。在氣壓必定的條件下，真空泵的抽氣速率越大，氣體的流量就越大，氨氣的消耗量也就越大。

　　在離子滲氮中，氣壓直接影響電流密度的巨細。氣壓大，電流密度大，而電流密度又影響升溫速度和保溫溫度。在實際操作中，氣壓應在133～1066Pa之間，一般為266~800Pa。

　　爐氣壓力對滲氮層的安排有必定影響。高氣壓下化合物層中ε相含量增高，低氣壓易獲得γ′相。氣壓在40~2660Pa時，不易呈現化合物層。

　　氣壓還決議輝光層的厚度，氣壓越大，dk越小，輝光層越薄，越有利于升溫。

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